Si no recuerdo mal, tienes que bajarte primero la rom oficial y luego la de cyanogen, instalar la oficial, reiniciar dos veces y luego meter la de cyano por el tema de las aplicaciones de google.
Aquí tienes una guia:
http://wiki.cyanogenmod.com/index.php/Main_Page
Si no prueba la de Superatmel, que ya vienen ambas roms mezcladas.