con los pocos datos que das...
- debes tener el cwm 5.0.2.0 o superior (si tienes el touch mejor pon otro)
- puede ser porque no has hecho los 3 wipes (factory resert, cache y dalvik)
- puede ser porque tendrías que haber flasheado antes el archivo backtoext3.zip, googlea que lo encuentras.
- puede ser porque el archivo que te has bajado de cyano esté corrupto.
- puede ser porque el flasheo va deprisa y realmente no se instala la rom (si has flasheado varias roms te das cuenta porque la instalación la hace más rápido de lo normal). Se vuelve a flashear sin salir del recovery hasta que veas que lo hace bien.
Un Saludo