A mi me pasó lo mismo al intentar hacerme s-off la primera vez. El problema es la falta de memoria interna. Asegurate de que tienes 40 o 50 mb libres antes de volver a intentarlo. Y que la se tampoco esté a tope.
Yo desinstalé varias apps, s-off sin problemas, le puse hboot7r2, rom cm7 y nunca más he tenido problemas problemas de espacio...
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