Lo que tu quieres es pasar de cm13 a stock mediante el backup?
De ser así yo lo he hecho en una samsung galaxy tab pro y no he tenido problemas, visitando varios foros he visyo que otros lo han hecho sin problemas, seria cuestion de que guardes una copia de tu backup en tu pc, como respaldo, y te arriesgues, igual el firmware lo puedes encontrar en ulgun foro y el flasheo es relativamente sencillo