Debes hacer un Wipe a Data, system, cache (Cuando lo hagas no tendrás nada instalado)
Luego debes elegir el archivo ZIP del CM11 e instalarlo. Después instalas las GApps y por último el SuperSu. Si no te deja instalar el CM11 primero, prueba instalando el SuperSU primero, luego el CM11 y después las GApps.
Nos cuentas cómo te fue.

