Instala una ROM en zip sin hacer format /system.
Ese error lo suele dar la Titan Prime (Versión stock) cuando va a formatear /system y se lo encuentra vacío.
Si sigue dandote el error tras actualizar el recovery, instala de nuevo la ROM Cyanogen y luego haz solo wipe data y caches, e instala la Titan, para que /system no quede vacío.
Es raro, pero tras pasarme varias veces, esa es la conclusión a la que he llegado y por qué falla...