Para hacer una instalacion limpia yo siempre hago esto con el recovery PhilZ Touch.
1. Wipe Data/Factory Reset
2. Wipe Cache Partition
3. Wipe Dalwik cache
4. Format->/cache /system /data /preload /sdcard(interna)
5. Pasar un limpiador de kernel (Ultimate Kernel Cleaning Script )
6. Finalmente instalar la Rom y luego las correctas GAPPS para android 4.3
OJO, copia la ROM y las gaps en la sd externa y haz una copia de todo lo que quieras conservar de la sd interna
